什么是罗茨真空泵？
罗茨真空泵，是真空技术领域中的一种重要设备，通常被应用于半导体、光伏、电子等行业的高纯制造领域。罗茨真空泵是通过两个同步运转的叶轮之间的啮合空隙来抽取气体的一种机械式真空泵。叶轮速度高，配以特殊造型设计，使得罗茨旋子与罗茨壳体之间的间隙由小到大，气体被有效地抽除。
罗茨真空泵的工作原理
罗茨真空泵是基于叶轮相对运动原理的一种旋子泵，其工作原理如下：当泵机启动后，马达带动一个芯轴上的两个同步旋子相对转动。由于旋子的特定几何形状以及运动方式，所以在两个旋子之间会产生一些空穴，使得被抽气体能够从吸入端流入真空泵。在旋子的旋转过程中，这些被吸入的气体在不断被压缩和抽出，最终形成真空。
罗茨真空泵的特点
- 高效：罗茨真空泵可以达到超高真空的抽速。在普通气体环境下，可达到1800L/s的抽速；在氢气环境下，可达到400L/s以上的抽速。
- 稳定：罗茨真空泵采用双层罗茨旋子配合特殊壳体构造，运转稳定，抽气又快。
- 低噪音：相比于其他真空泵，罗茨真空泵的噪音更低，较好地保护了工作者耳膜。
罗茨真空泵的应用领域
罗茨真空泵的应用在半导体、光伏、电子等行业日趋广泛。它们被用于：气相沉积、物理气相沉积、现代量子光学、显示设备制造等需要高效稳定真空系统的制造领域。
