中电29所成功研制出国产化MEMS关键制程

近日，中国电子科技集团公司第29研究所（简称中电29所）成功研制出了国产化MEMS关键制程，填补了国内这一领域的技术空白。

中电29所MEMS课题组长介绍，该项技术的落地将有效支撑我国微电子产业自主可控发展，助力5G、AI算法等前沿领域的创新发展。

据悉，中电29所自2017年立项开展MEMS产业化攻关，先后攻克大规模惯性传感器测试技术、高可靠惯性传感器生产技术、高性能振荡器工艺等问题，形成了独具特色的解决方案。此次成功研制出国产化MEMS关键制程，为我国微电子产业链构建提供了极为重要的技术支撑。

作为中国电子科技集团的核心单位，中电29所一直致力于信息、物联网、新能源等领域的前沿技术研究和产业实践，为中国技术创新、工业转型和军民融合发展作出了重要贡献。